《炬丰科技-半导体工艺》晶片处理和清洗

书籍:《炬丰科技-半导体工艺》

文章:晶片处理和清洗

编号:JFKJ-21-251

作者:炬丰科技

术语

晶圆

半导体的完整圆盘,通常从生长的晶锭上切割下来。

薄片

通过劈开而减小尺寸的晶片的一部分,例如仍然可以进行一些处理的半片、四分之一片或小矩形片。

模具

构成器件或集成电路的半导体部分的晶片或薄片的单个部分。在所有的晶片或切片处理完成之前,芯片通常不会被分离。它们通常太小,无法单独处理。

标准晶圆特征

表面

    • 顶部:研磨、


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